防腐真空泵的真空热处理被当代热处理界称为节能的清洁热处理。真空热处理零件具有不氧化、不脱碳、不脱气、不脱脂、表面质量好、变形小、综合力学性能高、可靠性好(重复性好、寿命稳定)等一系列优点。因此，真空热处理在国内外得到了广泛的重视和应用。而真空热处理的普及程度被视为衡量一个国家热处理技术水平的重要标志。真空热处理技术是近四十年来热处理技术发展的热点，也是先进制造技术的重要领域。在这里，我们将告诉你一些用真空热处理真空泵时应该注意的：
　　1.用防腐真空泵处理钛合金时，不应使用氮气作为冷凝气体，因为钛和氮气会在高温下反应生成金色钛。
　　2.真空泵的活动连接部分用O型橡胶圈密封，这部分用水冷。
　　3.真空泵在真空中淬火工件，应使用真空淬火油，这种油具有较低的饱和蒸汽压。
　　4.真空炉的维护应处于真空或纯氮气状态，防止不使用时吸入湿气。
　　5.防腐真空泵压力上升速率不应超过1.33帕/小时，国外一些企业规格为0.67帕/小时
　　6.真空加热以辐射为主，工件应坚持在炉内的距离。
　　7.在防腐真空泵加热工件的过程中，炉内数据会被放气，使真空度下降。
　　8.真空回火、真空退火、真空固溶处理和真空时效加热温度一般与常规处理相同。
　　9.真空回火炉应有快速冷装置。冷水的压力应大于0.2兆帕流量，并应可调。
　　以上就是有关防腐真空泵热处理时应注意的几个问题，真空泵进入工件后，在普通预热前预抽至6.67Pa。